반응형 실리사이드(silicide)1 실리사이드(Silicide) 실리사이드(Silicide)는 실리콘(Si)과 금속 원소가 결합하여 형성되는 화합물을 의미합니다. 실리사이드는 주로 반도체 소자의 접합 부위에 사용되며, 높은 전기 전도성과 열적 안정성을 제공하여 소자의 성능과 신뢰성을 향상하는 데 중요한 역할을 합니다. 이 문서에서는 실리사이드의 개념, 종류, 합성 방법, 특성, 응용 분야 및 연구 동향에 대해 설명하겠습니다. 실리사이드의 개념과 정의 기본 개념 실리사이드는 실리콘(Si)과 금속(M)이 결합하여 형성된 금속 실리사이드(Metal Silicide) 화합물입니다. 이러한 화합물은 금속 원소와 실리콘 원자가 결합하여 고체 화합물을 형성하는데, 이들은 주로 반도체 소자의 전극, 배선 및 접합 부위에 사용됩니다. 실리사이드는 높은 전기 전도성, 낮은 저항,.. 2024. 8. 9. 이전 1 다음